當(dāng)前，
阿爾卡特ALCATEL渦輪分子泵的基本結(jié)構(gòu)基本定型為為臥式和立式兩種。它的轉(zhuǎn)子葉片具有特定的形狀，在它以20000~30000r/min的高速旋轉(zhuǎn)的同時，葉片將動量傳給氣體分子。葉片高速旋轉(zhuǎn)，其周邊的線速度一般200~300m/s，相當(dāng)于空氣分子平均速率的一半。為了獲得高真空，渦輪分子泵中裝有多級。上級葉片輸送過來的氣體分子又會收到下級葉片的作用繼續(xù)被壓縮到更下級。因此，渦輪分子泵的的一個特點是對一般氣體的抽出極為有效。例如對于氮氣，其壓縮比可以達到109但是渦輪分子泵抽除分子質(zhì)量較小的氣體能力較差，例如氫氣，其壓縮比僅有103。
由于渦輪分子泵對于氣體的壓縮比很好，因此工作時油蒸汽的回流問題基本可以忽略不計。渦輪分子泵的極限真空度能達到10-8Pa的數(shù)量級，抽速可以達到1000L/s，達到最大抽速的壓力區(qū)間是1~10-8Pa之間，因此在使用時要以旋片機械泵作為其前級泵。
阿爾卡特ALCATEL渦輪分子泵的注意事項：
1、不能在前級泵工作時（前級管路接通）和真空室處于真空狀態(tài)時將渦輪分子泵停掉，否則將會使油蒸氣迅速從前級管路返流到泵的清潔端。
2、分子泵系統(tǒng)在停機充干燥氣體前，一定要先將分子泵冷卻水關(guān)閉，且要從泵的高真空端充氣。決不能從泵的前級管路進行充氣。
3、選擇系統(tǒng)前級泵的大小時，應(yīng)使渦輪分子泵的前級保持在分子流狀態(tài)下。
4、不能讓渦輪分子泵在低于額定工作轉(zhuǎn)速下運行。
5、分子泵入口應(yīng)裝設(shè)防護網(wǎng)，以避免異物進入泵內(nèi)損壞泵轉(zhuǎn)子和定子葉片。
關(guān)注微信